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ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器

更新時間:2022-11-15

簡要描述:

ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器21系列,采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對用戶標(biāo)準工況進行修正。具有NIST可溯源校準證書。
可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力,并顯示氣體溫度,適用于多種流量測控場合。

型號:21系列點擊量:1062

  免費咨詢:86-021-59966206

  發(fā)郵件給我們:501630350@qq.com

ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器21系列

應(yīng)用及案例


● 大學(xué)/研究所                  ● 環(huán)境監(jiān)測

● 真空行業(yè)及鍍膜            ● 工業(yè)爐窯

● 半 導(dǎo)   體                      ● 汽車制造

● 光       伏                      ● 燃料電池

● 計量校準                      ● 過程工藝氣體測量

ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器21系列

產(chǎn)品特色


● 數(shù)字化產(chǎn)品

● 多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等

● 多參數(shù)控制,如體積流量、質(zhì)量流量和壓力

● 標(biāo)配三種控制方式:數(shù)字、模擬和本地面板

● 可選高精度:優(yōu)于0.5%讀數(shù)

● 量程可控比寬,0.01~100%滿量程

● 響應(yīng)時間快,優(yōu)于30 ms

● 內(nèi)置98種氣體

● 可現(xiàn)場編輯混合氣體(最多5種成分),并最多存儲20種混合氣

精度升級

量程為0.5 SCCM -6000 SLPM,

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段,下述指標(biāo)升級:

質(zhì)量流量普通精度    ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程(取最大值)

質(zhì)量流量高精度      ± 0.5% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程(取最大值)

重復(fù)性              ±(0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程)

質(zhì)量流量零點漂移    ± 0.01%滿量程/ ℃(從25℃開始)

                    ± 0.01%滿量程/ Atm(從校準壓力開始)

質(zhì)量流量量程漂移    ± 0.01%讀數(shù)/ ℃(從25℃開始)

                    ± 0.1 %讀數(shù)/ Atm(從校準壓力開始)

技術(shù)指標(biāo)

介質(zhì)要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類    內(nèi)置了98種氣體,請參考氣體兼容表

            一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體,用戶可現(xiàn)場選擇

量    程       從0-0.5 SCCM 到 0-6000 SLPM

量程可控比(穩(wěn)態(tài))    0.01~100%滿量程

最大顯示流量    128 %滿量程

最大可控流量    102.4 %滿量程

顯 示 屏    帶背光燈按鍵,標(biāo)準為LCD黑白顯示屏(帶背光),可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精    度    ±(0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程)精度升級部分見左下角

            ±(0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程)(可選)

累計流量精度    流量精度之外增加±0.5%讀數(shù)的額外誤差

重 復(fù) 性    ±(0.2% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程)

質(zhì)量流量溫度零點和滿量程漂移    0.02%滿量程/ ℃(從25℃開始)

質(zhì)量流量壓力零點和滿量程漂移    ±(0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程)/ Atm(從校準壓力開始)

控制響應(yīng)時間    30ms(與流量相關(guān),用戶可調(diào))

顯示響應(yīng)時間    <10ms(與流量相關(guān))

預(yù)熱時間    <1s

默認標(biāo)況(STP)    25 ℃&1Atm(其它標(biāo)況可調(diào))

工作溫度    -10 ~ 60 ℃(可選高溫/低溫選項)

溫度精度    ± 0.75℃

工作濕度    0 ~ 95 %,無冷凝

最大工作壓力    1 MPa表壓

最di操作壓力    如果不做真空特殊標(biāo)定,建議在絕壓80KPa以上使用;其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定

壓力精度    ±0.5%讀數(shù)(>1Atm),或±0.07PSIA(<1Atm)

滿量程壓損    參考詳細壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率    數(shù)字信號40Hz@19200波特率;

                模擬信號:1000Hz

屏幕刷新頻率    10Hz

數(shù)字輸入/輸出信號    RS232、RS485、Modbus RTU(RS232/RS485)、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模擬輸入/輸出信號    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度    在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差

供電電壓     12-30 VDC (如選4-20 mA輸出,須為15-30 VDC )

供電電流    250 mA,1 A,2 A(詳情咨詢)

            額外加 40 mA( 4 - 20 mA)

電氣接口    DB9M,可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等

泄漏率(外漏)    選擇HLC選項,泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材    質(zhì)   302、303、304、316L、430FR不銹鋼、FKM、硅橡膠、環(huán)氧樹脂、聚酰胺、玻璃、硅、銅、金、陶瓷

             R閥門430FR不銹鋼替換為410不銹鋼

過程連接    標(biāo)準為NPT內(nèi)螺紋,詳情參考壓損表

安裝位置    小閥門無要求,R閥門需閥體垂直向上安裝

防護等級    IP40(IP66可選)

認    證    ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA (可選)


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